FESTO过滤器MS6-LFR-1/2-D7-EUV-AS结构特点

款式 LFMA-D-MINI-A备货号192566气模块 1, 21) G1/8, G1/4, G3/8, –2) G1/4, G3/8, G1/2, G3/4, –2) G1/2, G3/4, G1, –2)组成部分优势 烧结法式滤筒，带抽滤区分器施工的方法 能够 附近  管式施工装设地位 纵向 ±5°过滤程序分类 [μm] 5-40传输的氧气纯钻石净度登级 再压缩氧气，具备 ISO 8573-1:2010 [6:8:4] (过滤程序登级 5 μm)缩减废气，遵循 ISO 8573-1:2010 [7:8:4] (滤过等级保护 40 μm)惰性固体 滤杯 五金滤杯  规格为 Mini组成部分特性 弹性纤维筛选程序器  筛选程序级别为 0.01 µm  冷却水水产生设备全会自动  数字符号  00991520  作业负荷  2 bar ... 12 bar  作业媒介缩减新鲜空气，按照 ISO 8573-1:2010 [6:8:4]惰性固体   工作输出口大气纯钻戒颜色定级  收缩大气，具有 ISO 8573-1:2010 [1:7:2]惰性实验室气体  保护措施英文罩   金属件保护措施英文罩耐蚀化技能等级 CRC   2 - 中档耐蚀化功能  车漆湿度一些缺陷元素（PWIS）符合标准性VDMA24364-B1/B2-L  材质温度因素  1.5 °C ... 60 °C坏境溫度-10 °C ... 60 °C  残留物残用油量 0.01 mg/m³装方式  但要：  管式装 带图片附件  装位子 径直 +/-5°  气主板接口，气口 1基座  气接口方式，气口 2  基座  硬壳的原料  压铸锌  吸附器的原料硼硅酸盐化学纤维  碗罩建筑材料PC  建筑材料说  RoHS 内控

FESTO过滤器MS6-LFR-1/2-D7-EUV-AS结构特点